Научно-технологическое развитие Российской Федерации

Полимеры для микроэлектроники: импортозамещение началось

Полимеры для микроэлектроники: импортозамещение началось

В апреле состоялось заседание Президиума РАН, на котором обсуждались вопросы развития микроэлектроники. В частности, на нем говорили о проблемах импортозамещения и отдельно – создания такого критически важного компонента для производства микроэлектронных чипов, как фоторезистов. Мы вместе с редакцией портала Mendeleev.info попросили научного руководителя Института проблем химической физики РАН академика РАН Сергея Алдошина и заведующего лабораторией полимерных резистов ИПХФ РАН Георгия Малкова рассказать, о чем шла речь на заседании и о конкретных научных работах института и его партнеров в этой области.

Сергей Алдошин:

В целом мы обсуждали три основных проблемы в отрасли. Доклад, посвященный состоянию российской микроэлектроники и целях, которые сейчас стоят перед ней, делал академик РАН Геннадий … Красников, председатель совета директоров компании «Микрон» - крупнейшего российского производителя микроэлектроники (и экспортера микроэлектронной продукции). Он рассказал о задачах, которые нужно решить для того, чтобы сделать независимым от импорта производство более 700 типономиналов продукции,включая интегральные схемы для защищенных носителей данных, идентификационных, платежных и транспортных документов, управления питанием и RFID-маркировки для различных отраслей цифровой экономики.

После этого состоялись три содоклада: мой, посвященный производству полимерных и органических компонентов материалов, использующихся в технологических процессах производства интегральных микросхем, обзорный доклад члена-корреспондента РАН Владимира Бородина, посвященный приборостроению для производства микроэлектроники, и доклад члена-корреспондента РАН Виктора Устинова, который был посвящен новым технологиям для микроэлектроники.

Мой доклад появился в этой программе не случайно. Еще в 2018 году мы понимали, что такая проблема санкций может возникнуть, и с Геннадием Красниковым обсуждали возможность участия химических институтов РАН химического профиля в разработке новых материалов для микроэлектроники. Тогда это не носило такого критического характера, но, тем не менее Геннадий Яковлевич провел совещание, в котором приняли участие руководителя ряда институтов, промышленных организаций и бизнеса, на котором была поставлена задача заменить импортные материалы и технологии в микроэлектроники. Нам отвели важную роль в разработке антиотражающих покрытий и фоторезистов для микроэлектроники.

Справка. Фоторезист – это светочувствительный полимерный материал, который наносят на обрабатываемый материал в процессе фотолитографии или фотогравировки с целью получить на поверхности обрабатываемого материала «окна» для доступа травящих веществ. В настоящее время это основной Таким способом получают интегральные схемы в микроэлектронике.

Несмотря на то, что это – задача из области полимерной химии, наш «полимерный» отдел уже работал по традиционным для себя темам. А вы прекрасно знаете, что людей немолодого возраста перестроить на новую тематику, даже если под нее выделено хорошее финансирование, или очень трудно, или практически невозможно. А начинать нужно было с нуля – даже задела в этой области не было, потому что он был якобы не нужен. Считалось, что все, что надо, мы купим…

Так получилось, что в то же время, когда проходили первые конкурсы Минпромторга на выполнение работ в области микроэлектроники и мы выиграли свою часть проекта, состоялся и конкурс на создание «молодежных» лабораторий, который проводило Минобрнауки. Мы выиграли конкурс на две лаборатории, и одна из них, которая называется «Лаборатория полимерных резистов», начала работы по разработке новых материалов и новых технологий для создания полимерных основ для антиотражающих покрытий и фоторезистов. Мы привлекли аспирантов и даже несколько студентов к работе в этой новой лаборатории, которую возглавил Георгий Малков.

Источник